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質量流量控制器 SFC5400
針對多種應用的多功能控制器
SFC5400質量流量控制器以優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性和可重復性測量和控制質量流量，覆蓋寬動態(tài)測量范圍。SFC5400可高度配置，其外殼由金屬制成。此外，流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件，測量50 sccm到200 slm的大流量。傳感器信號可在芯片上直接轉換成100%校準和經(jīng)溫度補償?shù)臄?shù)字信號。多氣體校準可存儲在單個器件上。此外，流量控制器還可檢查激活的氣體校準與實際氣體是否匹配。SFC5400的通用性使之成為了工業(yè)和醫(yī)療應用的理想解決方案。

SFC5400質量流量控制器與所有傳感器產(chǎn)品一樣，依賴創(chuàng)新的CMOSens® 技術，在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件及模擬和數(shù)字處理電路，可保證優(yōu)異的性能。配合材料，SFC5400可實現(xiàn)持久穩(wěn)定、快速和高度的流量控制。

SFC5400質量流量控制器也提供無閥版本。SFM5400質量流量計與質量流量控制器具有相同性能特性，可用在類似應用當中，SFC5400和SFM5400可組合在一起。在SFM5400網(wǎng)站，您可以找到關于質量流量控制器的更多信息和詳細規(guī)格。

對于大批量的項目，我們可根據(jù)您的具體要求調整或開發(fā)您需要的質量流量控制器。了解更多關于定制解決方案信息。

質量流量控制器 SFC5400

性能參數(shù)
超快速氣體流量控制（穩(wěn)定時間＜100 ms）
超低流量測量時的高精度（＜ 1sccm）
出色的長期穩(wěn)定性和可靠性
無老化效應
寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）
多氣體配置
高配置
源于CMOSens®技術的*性價比
數(shù)字和模擬接口
靈活機械連接選項：向下安裝、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要，可提供定制版本

應用
分析儀器  （如氣相色譜、質譜、熱分析）
醫(yī)療器械  （如呼吸機、麻醉機）
工業(yè)過程自動化  （如涂覆、熱處理）
半導體行業(yè)  （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）

應用范圍
流量計廣泛應用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、國防建設、科學研究對外貿(mào)易以及人民生活各個領域之中。在石油工業(yè)生產(chǎn)中，從石油的開采、運輸、煉冶加工直至貿(mào)易銷售，流量計量貫穿于全過程中，任何一個環(huán)節(jié)都離不開流量計量，否則將無法保證石油工業(yè)的正常生產(chǎn)和貿(mào)易交往。在化工行業(yè)，流量計量不準確會造成化學成分分配比失調，無法保證產(chǎn)品質量，嚴重的還會發(fā)生生產(chǎn)安全事故。在電力工業(yè)生產(chǎn)中，對液體、氣體、蒸汽等介質流量的測量和調節(jié)占有重要地位。流量計量的準確與否不僅對保證發(fā)電廠在運行具有很大的經(jīng)濟意義，而且隨著高溫高壓大容量機組的發(fā)展，流量測量已成為保證發(fā)電廠安全運行的重要環(huán)節(jié)。如大容量鍋爐瞬時給水流量中斷或減少，都可能造成嚴重的干鍋或爆管事故。這就要求流量測量裝置不但應做到準確計量，而且要及時地發(fā)出報警信號。在鋼鐵工業(yè)生產(chǎn)中，煉鋼過程中循環(huán)水和氧氣(或空氣)的流量測量是保證產(chǎn)品質量的重要參數(shù)之一。在輕工業(yè)、食品、紡織等行業(yè)中，也都離不開流量計量。

流量計盡量避開鐵磁性物體及具有強電磁場的設備(如大電機、大變壓器的等)，以免磁場影響傳感器的工作磁場和流量信號。傳感器勺轉換器間的流量信號線和激磁線。然而從雷電故障中損壞零部件的分析，引起故障的感應高電壓和浪涌電流大部分足從控制室電源線路引入的，其他兩條途徑較少。由于電磁流量計測量含有懸浮固相或污臟體的機會遠比其他流量儀表多，出現(xiàn)內(nèi)壁附著層產(chǎn)生的故障概率也就相對較高。若附著層電導率與液體電導率相近。常見的調試期故障通常由安裝不妥。