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中國鐵鈷磁致伸縮敏感膜的新型聲表面波磁場傳感器研制成功

2018-06-08

目前,人們已研制出利用各種物理、化學(xué)和生物效應(yīng)的磁場傳感器,并已在科研、生產(chǎn)和社會生活的各個方面得到廣泛應(yīng)用,承擔(dān)起探究種種信息的任務(wù)。但是多數(shù)的磁場傳感技術(shù)在靈敏度及磁滯誤差等方面仍存在問題,阻礙了其實(shí)質(zhì)應(yīng)用。將柵陣式鐵鈷(FeCo)磁致伸縮薄膜高磁敏、低磁滯性與聲表面波的快速響應(yīng)特點(diǎn)相結(jié)合,有可能實(shí)現(xiàn)一種快速、高靈敏、低遲滯誤差、穩(wěn)定可靠的新型磁場檢測方法來檢測磁場。
 
中國科學(xué)院聲學(xué)研究所超聲技術(shù)中心研究員王文、博士賈雅娜等人研究發(fā)現(xiàn),對鐵鈷磁致伸縮薄膜進(jìn)行柵陣式設(shè)計,可以獲得一種新型的快速、靈敏度高的磁場檢測方法,提高磁場傳感器的線性度、一致性和穩(wěn)定性,減小遲滯誤差,由此改善磁場傳感器的性能。
 
近年來,研究人員采用磁致伸縮薄膜作為敏感膜的表面聲波傳感器,為設(shè)計磁場傳感器提供了新方法。王文的研究小組曾提出一種基于鐵鈷薄膜的SAW器件,用于感測電流/磁場,根據(jù)理論優(yōu)化獲得的靈敏度高達(dá)8.3kHz / mT。然而,磁致伸縮薄膜中的強(qiáng)磁滯效應(yīng)帶來了顯著的滯后誤差,明顯降低了傳感器性能。
 
此次,研究人員將柵陣式圖形設(shè)計的鐵鈷磁致伸縮敏感膜與表面聲波相結(jié)合進(jìn)行磁場感測,所提出的傳感器由差分雙延遲線振蕩器構(gòu)成.
 
傳感通道上的器件表面利用射頻濺射技術(shù)和套刻工藝沉積鐵鈷薄膜柵陣,通過釋放鐵鈷中的內(nèi)部應(yīng)力變化來有效地抑制磁滯效應(yīng)。參考通道的器件用于通過差分方法有效減小外圍環(huán)境溫度等影響。當(dāng)磁場發(fā)生變化時,鐵鈷薄膜發(fā)生磁致伸縮效應(yīng)*和ΔE效應(yīng)*,引起SAW傳播速度的改變,進(jìn)而可以差分振蕩頻率信號的變化來表征待測磁場強(qiáng)度。

 

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